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    光刻機溫度控制裝置安裝注意事項

    簡要描述:元器件高低溫測試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中,IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測試階段包括在溫度(-85℃至+ 250℃)下的電子冷熱測試和其他環(huán)境測試模擬。光刻機溫度控制裝置安裝注意事項

    • 產(chǎn)品型號:AES-4535
    • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
    • 更新時間:2025-01-13
    • 訪  問  量:3276
    詳情介紹
    品牌LNEYA/無錫冠亞冷卻方式風(fēng)冷式
    價格區(qū)間5萬-10萬產(chǎn)地類別國產(chǎn)
    儀器種類一體式應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子/電池,航空航天,制藥/生物制藥,汽車及零部件

    <strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

     型號AES-4535
     AES-4535W
    AES-6035
     AES-6035W
    AES-8035
     AES-8035W
    AES-A1035WAES-A1235W
    溫度范圍-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
    制冷量-45℃2.5kW    
    -60℃ 2kW   
    -80℃  1.5kW  
    -100℃   1.2kW 
    -120℃    1.2kW
    溫控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
    溫度轉(zhuǎn)換時間-25℃ to 150℃ 約10S
    150℃to  -25℃
    約20s
    -45℃ to 150℃ 約10S
    150℃to  -45℃
    約20s
    -55℃ to 150℃ 約10S
    150℃to  -55℃
    約15s
    -70℃ to 150℃ 約10S
    150℃to  -70℃
    約20s
    -80℃ to 150℃ 約11S
    150℃to  -80℃
    約20s
    空氣要求空氣濾清器<5um
    空氣含油量:<0.1ppm
    空氣溫濕度:5℃~32℃  0~50%RH
    空氣處理能力7m³/h ~ 25m³/h  壓力5bar~7.6bar
    系統(tǒng)壓力顯示制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實現(xiàn)(高壓、低壓)
    循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上
    控制器西門子PLC,模糊PID控制算法
    溫度控制控制出風(fēng)口溫度
    可編程可編制10條程序,每條程序可編制10段步驟
    通信協(xié)議以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
    設(shè)備內(nèi)部溫度反饋設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設(shè)備有)
    溫度反饋T型溫度傳感器
    壓縮機法國泰康/艾默生
    蒸發(fā)器套管式換熱器
    加熱器法蘭式桶狀加熱器
    制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥過濾器、油分離器、高低壓保護器、膨脹閥、電磁閥)
    操作面板無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
    安全防護具有自我診斷功能;相序斷相保護器、冷凍機過載保護;高壓壓力開關(guān),過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。
    制冷劑冠亞混合制冷劑
    外接保溫軟管方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍
    外型尺寸(風(fēng))cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
    外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
    風(fēng)冷型采用銅管鋁翅片冷凝方式,冷凝風(fēng)機采用德國EBM軸流風(fēng)機
    水冷型 W帶W型號為水冷型
    水冷冷凝器板式換熱器(務(wù)必確保冷卻水清潔)
    冷卻水量 at 25℃0.6m³/h
    G3/8
    1.2m³/h
    G3/4
    1.6m³/h
    G1
    2.6m³/h
    G1
    3m³/h
    G1
    電源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
    電源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
    外殼材質(zhì)冷軋板噴塑 (標準顏色7035)
    溫度擴展高溫到 +300℃

     

     

    <strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

    <strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

    光刻機溫度控制裝置安裝注意事項

    光刻機溫度控制裝置安裝注意事項

      市場上關(guān)于光刻機溫度控制裝置的類型有多種,不同類型的光刻機溫度控制裝置其使用方法、作用、結(jié)構(gòu)等都存在一定的差異,所以企業(yè)在選擇時根據(jù)企業(yè)的狀況選擇適合自己的產(chǎn)品。

      一、光刻機溫度控制裝置的安裝方法:

      (1)光刻機溫度控制裝置運行時要產(chǎn)生熱量,應(yīng)確保冷卻空氣的流通,安裝時周圍應(yīng)留有一定的空間,產(chǎn)生的熱量向上散發(fā),所以不要安裝在不耐熱設(shè)備的周圍。

      (2)光刻機溫度控制裝置應(yīng)直接安裝在水平面,請勿倒裝、斜裝或垂直安裝。

      (3)光刻機溫度控制裝置不能安裝在有各種纖維、紙片(屑)、金屬碎塊等場所。

      (4)光刻機溫度控制裝置的出水口應(yīng)與您的儀器的進水口相連接,儀器的出水口應(yīng)與本冷卻循環(huán)水機的進水口相連接。

      二、光刻機溫度控制裝置的注意事項:

      (1)電源一定要連接于主電源端子。如果錯將電源連接于其它端子,將損壞冷卻循環(huán)水機。另外應(yīng)確認電源電壓是否在允許電壓范圍內(nèi)。

      (2)接地端子良好接地,防止電擊或火災(zāi)事故。

      (3)如是分體機,室內(nèi)機與室外機的氟路連接由凍水機、光刻機溫度控制裝置廠家的技術(shù)人員負責(zé)安裝或調(diào)試。

      (4)光刻機溫度控制裝置,應(yīng)見各接線端子,接線時千萬不要接錯線。

      (5)各端子和連接線之間是否有短路或?qū)Φ囟搪贰?/font>

      (6)如使用溫度較低請在循環(huán)液里加上防凍液。

      (7)一定要用壓接端子連接端子和導(dǎo)線,保證連接的可靠性。

      (8)完成電路連接后,請檢查連接是否都正確無誤。

    9)有無漏接線。

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