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TCU控溫單元Chiller從薄膜沉積到芯片測試的高精度溫度控制解決方案

 更新時間:2025-07-01 點擊量:480

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,溫度控制的精度與穩(wěn)定性直接影響產(chǎn)品良率與性能。TCU控溫單元Chiller作為配套溫控設(shè)備之一,其技術(shù)特性與應(yīng)用模式在半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中應(yīng)用廣泛。

一、技術(shù)原理與系統(tǒng)構(gòu)成

TCU控溫單元Chiller采用全密閉管道式設(shè)計,系統(tǒng)由壓縮機、板式換熱器、循環(huán)泵及控制系統(tǒng)等核心部件組成。制冷系統(tǒng)工作時,壓縮機排出的高溫高壓制冷劑氣體經(jīng)冷凝器冷凝為高壓過冷液體,通過膨脹閥節(jié)流降壓后進入蒸發(fā)器,在蒸發(fā)器內(nèi)吸收導(dǎo)熱介質(zhì)熱量氣化,完成制冷循環(huán)。導(dǎo)熱介質(zhì)通過循環(huán)泵輸送至溫控區(qū)域,與半導(dǎo)體制造設(shè)備進行熱交換,實現(xiàn)溫度控制。控制系統(tǒng)采用前饋PID與無模型自建樹算法結(jié)合的方式,通過三點采樣實時監(jiān)測溫度變化,動態(tài)調(diào)整控制參數(shù)。這種控制模式能夠應(yīng)對系統(tǒng)滯后問題,確保溫度控制的響應(yīng)速度與精度。

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二、半導(dǎo)體制造中的溫控需求

半導(dǎo)體制造涉及薄膜沉積、光刻、刻蝕、離子注入等多個關(guān)鍵工藝,每個環(huán)節(jié)對溫度控制均有嚴格要求。以薄膜沉積工藝為例,沉積速率與薄膜質(zhì)量對溫度變化要求較高,溫度波動需要控制,否則會導(dǎo)致薄膜厚度不均勻、成分偏差等問題,影響器件性能。光刻工藝中,曝光設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)溫度穩(wěn)定性直接影響光刻精度。溫度變化會導(dǎo)致光學(xué)元件熱脹冷縮,改變光路路徑與焦距,進而影響圖形轉(zhuǎn)移的準確性。刻蝕工藝中,反應(yīng)腔溫度控制不當(dāng)會導(dǎo)致刻蝕速率不穩(wěn)定、選擇比偏差,影響刻蝕輪廓與器件結(jié)構(gòu)。

三、實際應(yīng)用場景解析

在半導(dǎo)體設(shè)備冷卻加熱場景中,TCU控溫單元Chiller可用于半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備的溫度控制。在PECVD設(shè)備中,通過對反應(yīng)腔溫度的準確控制,確保薄膜沉積速率與質(zhì)量的穩(wěn)定性。設(shè)備采用全密閉系統(tǒng),避免導(dǎo)熱介質(zhì)與空氣接觸,防止介質(zhì)氧化或吸收水分,保證長期運行的可靠性。在半導(dǎo)體材料低溫高溫老化測試中,該類設(shè)備可提供寬泛的溫區(qū)測試環(huán)境。通過程序編輯功能,可編制多段溫度曲線,模擬材料在不同溫度條件下的老化過程,評估材料性能的穩(wěn)定性。系統(tǒng)支持數(shù)據(jù)記錄與導(dǎo)出功能,可實時記錄溫度變化數(shù)據(jù),為材料研發(fā)與質(zhì)量控制提供準確依據(jù)。

對于半導(dǎo)體芯片測試用控溫系統(tǒng),TCU控溫單元Chiller可實現(xiàn)對芯片測試環(huán)境的準確控溫。在芯片性能測試中,溫度作為關(guān)鍵參數(shù)之一,需保持高度穩(wěn)定。設(shè)備采用磁力驅(qū)動泵,無軸封泄漏問題,確保測試環(huán)境的潔凈度,避免因泄漏導(dǎo)致的測試誤差或設(shè)備損壞。

在半導(dǎo)體制造向高精度、高集成度發(fā)展的趨勢下,TCU控溫單元Chiller憑借其準確的溫度控制、穩(wěn)定的性能表現(xiàn)及完善的安全機制,成為半導(dǎo)體制造過程中配套使用的溫控設(shè)備。隨著半導(dǎo)體工藝的不斷進步,該類設(shè)備將在更廣泛的應(yīng)用場景中發(fā)揮重要作用,為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供控溫支持。


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